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■a硅集成电路工艺基础■FGuan Xu Dong Bian Zhu■AGui Ji Cheng Dian Lu Gon+...... |
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■a第2版 |
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■a北京■c北京大学出版社■d2014 |
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■a10, 391页■c图■d23cm |
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■a21世纪微电子学专业规划教材 普通高等教育“十五”国家级规划教材 |
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■a有书目 |
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■a本书主要包括：硅晶体和非晶体，氧化，扩散，离子注入，物理气相淀积，化学气相淀积，外延，光刻工艺，金属化与多层互联等内+...... |
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■aFundamentals of silicon integrated circuit technology■zeng |
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■a硅集成电路■j教材■x高等教育■AGui Ji Cheng Dian Lu |
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■a关旭东■4编著■AGuan Xu Dong |
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