文献类型:中文图书 浏览次数:82
  • 题名:微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
  • 责任者:顾长志等编著
  • 出版社科学出版社
  • 出版年:2013
  • ISBN:978-7-03-037825-5
  • 定价:118.00
  • 载体形态项:353页 25cm
  • 个人责任者:顾长志,编著
  • 学科主题:纳米材料
  • 中图法分类号:TB
  • 提要文摘附注:顾长志等编著的《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用,注重理论与实践的结合,包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工,以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用,重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势,在科学研究中的创新性应用与要注意的问题,以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。
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