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  • 题名:半导体集成电路微纳器件工程实现原理与方法
  • 责任者:杨淼森等编著
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2026
  • ISBN:978-7-111-79164-5
  • 定价:68.00
  • 载体形态项:168页 26cm
  • 个人责任者:杨淼森编著
  • 学科主题:半导体集成电路
  • 中图法分类号:TN430.5
  • 提要文摘附注:本书阐述了纳米级图形转移到工厂级系统整合的关键技术,旨在培养贯通集成电路产业全链条的复合型人才。全书共5章。第1章解析了光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等核心装备的工作原理,揭示了图形生成、增材与减材工艺的物理化学本质,奠定装备认知基础;第2章立足CMOS工艺平台,贯通器件制造与工艺集成技术,阐释了三维集成等先进技术的实现路径;第3章突破传统设计边界,融合IP定制、数模混合设计及DTCO协同优化方法,搭建了设计与制造的对话桥梁;第4章解密晶圆厂“生命中枢”,剖析供配电、超纯水、特种气体等厂务系统的核心技术逻辑;第5章溯源制造根基,解读硅片、光刻胶、电子特气等核心材料的质量规范与工艺适配准则,完整勾勒“材料-设备-工艺”的互动图谱。
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