| 000 |
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01226nam0 2200253 450 |
| 001 |
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01202603517 |
| 005 |
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20260910160313.948 |
| 010 |
__ |
■a978-7-5236-1807-3■dCNY78.00 |
| 100 |
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■a20260910d2025 em y0chiy50 ea |
| 101 |
0_ |
■achi |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aak a 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量■Amian xiang ji cheng dian lu zhuang bei+...... |
| 210 |
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■a北京■c中国科学技术出版社■d2025.12 |
| 215 |
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■a203页■c图■d24cm |
| 314 |
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■a王珂晟, 山东华宇工学院教授、高级工程师, 硕士生导师, 校学术委员会委员、清华大学工学博士, 英国伦敦布鲁内尔大学+...... |
| 320 |
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■a有书目 (第194-203页) |
| 330 |
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■a本书围绕静电卡盘静电力测量问题, 系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系, 从测量原理创新、实验平+...... |
| 333 |
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■a本书适用于可供集成电路装备及微纳制造领域研发人员参考 |
| 606 |
0_ |
■a集成电路工艺■x静电力■x测量方法■Aji cheng dian lu gong yi |
| 690 |
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■aTN405■v5 |
| 701 |
_0 |
■a王珂晟■4著■Awang ke sheng |
| 801 |
_0 |
■aCN■b广东新华■c20260910 |
| 905 |
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■aHNUU■b000859740■b000859741■dTN405/9 |
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