文献类型:中文图书 浏览次数:56
  • 题名:微机械电子系统及其应用
  • 责任者:刘广玉, 樊尚春, 周浩敏编著
  • 出版社北京航空航天大学出版社
  • 出版年:2003
  • ISBN:7-81077-183-3
  • 定价:16.00
  • 载体形态项:192页 23cm
  • 个人责任者:樊尚春编著、周浩敏编著、刘广玉编著
  • 学科主题:微电子技术
  • 中图法分类号:TH-39
  • 提要文摘附注:本书内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器、微机械弱信号检测与处理6部分。
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