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  • 题名:微细加工与微纳加工技术及应用
  • 责任者:赵波, 李伯民, 李清等编著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2021.01
  • ISBN:978-7-122-36940-6
  • 定价:79.00
  • 载体形态项:214页 26cm
  • 个人责任者:赵波编著、李伯民编著、李清编著
  • 学科主题:特种加工
  • 中图法分类号:TG66
  • 提要文摘附注:本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现 ; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。本书内容丰富、语言精练, 具有较强的实践指导意义和实用价值。
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